對于高真空系統（<10??Pa），需采用 “低溫泵 - 冷阱" 組合，冷阱溫度需低于 - 180℃以捕集氮、氧等氣體；

處理腐蝕性氣體（如 HCl）時，阱體需采用哈氏合金等耐蝕材料，避免低溫下材料脆化；

連續運行系統需設計雙阱切換裝置，一阱工作時另一阱除霜，確保無間斷捕集。